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                製品詳細

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                マスフローメータ?マスフローコントローラ/
                MF5100B

                ◆資料ダウンロード
                スペックシート(第6版)

                MF5100Bシリーズは、大幅な流量レンジ、高溫度安定度、3種のモードを持つソフトスタート機能等、使いやすさと高性能を両立したマスフローメータ?マスフローコントローラです。
                特徴

                ■幅広い流量レンジ
                流量レンジは最小5SCCMから、最大400SLMまで豊富に取り揃えています。

                ■高信頼性
                各回路の集積化?機械系の最適化を図り、小型でありながら、高い信頼性を達成しています。

                ■ソフトスタート機能
                本體內蔵のソフトスタート機能は、直線的な立ち上がりで、時間調整が可能(最大70秒)、3種のモード(設定変更時、電源投入時、外部バルブ閉→開時)で動作します。

                ■高安定度
                溫度安定度は0.05%/℃、リーク規格は、1×10-10Pa?m3/s(He)まで可能です。

                ※仕様はスペックシートを參照

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